GB/T 17874-1999 电子工业用气体 三氯化硼
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基本信息
| 标准名称： | 电子工业用气体 三氯化硼 |
| 英文名称： | Gases for electronic industry--Boron trichloride |
| 中标分类： | 化工 >> 其他化工产品 >> 工业气体与化学气体 |
| ICS分类： | 化工技术 >> 化工产品 >> 工业气体 |
| 替代情况： | 被GB/T 17874-2010代替 |
| 发布部门： | 国家质量技术监督局 |
| 发布日期： | 1999-09-01 |
| 实施日期： | 2000-06-01 |
| 首发日期： | 1999-09-16 |
| 作废日期： | 2011-05-01 |
| 主管部门： | 国家标准化管理委员会 |
| 归口单位： | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会 |
| 起草单位： | 光明化工研究设计院 |
| 出版社： | 中国标准出版社 |
| 出版日期： | 1900-01-01 |
| 页数： | 平装16开， 页数：8， 字数：11千字 |
适用范围
本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。
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所属分类： 化工 其他化工产品 工业气体与化学气体 化工技术 化工产品 工业气体
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